某单晶硅生产线氮氧化物尾气净化系统

项目名称 ：某单晶硅生产线氮氧化物尾气净化系统

项目地址 ：河北省张家口市

所属行业 ：电子半导体行业

处理规模 ：处理风量15000m3/h

案例详情 ：

本项目为某半导体材料生产企业在单晶清洗工序中反应过程产生的氮氧化物及HF废气。本项目于2013年5月正式运行，并于2013年7月通过验收。本系统废气主要成分为氮氧化物及HF废气，处理工艺前端采用高 效碱液吸收的工艺将尾气中大部分氮氧化物及HF气体中和净化后，剩余少量的氮氧化物尾气经气液分离器及氮氧化物专用吸附工艺净化达标，经处理后的废气达到排放标准。